PI P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運(yùn)動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動和定位的成品子系統(tǒng)。

用于掃描探針顯微鏡的高動態(tài)納米定位系統(tǒng)

P-363

PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實現(xiàn)gao精度

§ 并聯(lián)測量技術(shù)可實現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動化 補(bǔ)償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

規(guī)格

                      P-363.3CD         P-363.2CD        單位

主動軸                  X、Y、Z            X, Y

運(yùn)動和定位

集成傳感器               電容式          電容式

-250至+250伏時X、Y向上的開環(huán)行程  ±3    ±3             微米

 -250至+250伏時Z向上的開環(huán)行程    ±2.7    -             微米

X、Y向上的閉環(huán)行程                  ±2.5   ±2.5          微米

Z向上的閉環(huán)行程      ±2.5    -      微米

分辨率，開環(huán)*      0.03  0.03納米

分辨率，閉環(huán)      0.1  0.1 納米

線性誤差      0.05   0.05 %

重復(fù)精度 1 1 納米

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角 0.5   0.5微弧度

Z向運(yùn)動時的傾斜0.2-微弧度

X、Y向上的直線度3 3納米

PI P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀